超純水設備是采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。
       純水設備，它采用的是主要是反滲透膜技術。它的工作原理是對水施加一定的壓力，使水分子和離子態的礦物質元素通過反滲透膜，而溶解在水中的絕大部分無機鹽(包括重金屬)、有機物以及細菌、病毒等無法透過反滲透膜，從而使滲透過的純凈水和無法滲透過的濃縮水嚴格的分開;反滲透膜上的孔徑只有0.0001微米,而病毒的直徑一般有0.02-0.4微米,普通細菌的直徑有0.4-1微米。

（一）超純水設備的用途：

        1、超純材料和超純試劑的生產和清洗。2、電子產品的生產和清洗。3、電池產品的生產。4、半導體產品的生產和清洗。5、電路板的生產和清洗。6、其他高科技精細產品的生產。

（二）純水設備的用途：

       1、電廠化學水處理2、電子、半導體、精密機械行業超純水3、食品、飲料、飲用水的制備4、小型純水站，團體飲用純水5、精細化工、精尖學科用水6、其他行業所需的高純水制備7、制藥工業工藝用水8、海水、苦咸水的淡化

      1.超純水的出水水質：電阻率>15MΩ.cm超純水水質分為五個行業標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區分不同水質。

      2.純水分為:工業純水和飲用純水工業純水:在25攝氏度中，
         1、普通純水:EC=1~10us/cm;
         2、高純水:EC=0.1~1.0us/cm;
         3、超純水:EC=0.1~0.055；飲用純水:EC=1~10 us/cm(標準)。

（一）超純水設備的工藝流程為：

         1、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象 （≥18MΩ.CM）(傳統工藝)。

         2、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥18MΩ.CM）(工藝)。

         3、預處理→一級反滲透→加藥機（PH調節）→中間水箱→二級反滲透（正電荷反滲膜）→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥17MΩ.CM）(工藝)。

        4、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥15MΩ.CM）(工藝)。

        5、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象 （≥15MΩ.CM）(傳統工藝)。

（二）純水設備的工藝流程為：

         1、采用離子交換方式

      原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點

         2、采用兩級反滲透方式

      原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透 →PH調節→中間水箱→二級反滲透(反滲透膜表面帶正電荷)→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點

        3、采用EDI方式

      原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統→微孔過濾器→用水點