| 貝克干式真空泵在半導體制造中的應用 | 晶圓蝕刻/CVD/離子注入專用解決方案 |
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價格：8750 元(人民幣) | 產地：廣東東莞市 |
| 最少起訂量：1臺 | 發貨地：廣東東莞市 | |
| 上架時間：2025-04-19 10:55:15 | 瀏覽量：18 | |
東莞市飛粵真空科技有限公司
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| 經營模式：經銷商 | 公司類型：私營有限責任公司 | |
| 所屬行業：真空泵 | 主要客戶：全國 | |
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貝克干式真空泵在半導體制造中的應用 | 晶圓蝕刻/CVD/離子注入專用解決方案
隨著半導體工藝向3nm/2nm制程逼近，真空環境的潔凈度與穩定性直接決定了芯片良率與生產成本。貝克干式真空泵（Busch Dry Vacuum Pumps）憑借無油污染、高精度控制、超長運行壽命三大核心優勢，為晶圓蝕刻、化學氣相沉積（CVD）、離子注入等關鍵工藝提供全流程真空解決方案，助力半導體制造企業突破技術瓶頸。 三大核心工藝場景的關鍵詞應用解析 1. 晶圓蝕刻工藝：納米級精度控制 - 關鍵詞應用：干式螺桿真空泵 / 無油污染 / 真空度穩定性 - 技術痛點：傳統油潤滑泵碳氫污染導致刻蝕線寬偏差＞5% - 貝克方案： - 采用**COBRA NC系列干式螺桿泵，真空腔體零油分子殘留 - DLC（類金剛石）涂層技術，摩擦系數降低60%，壽命達80,000小時 - 動態壓力控制系統，將真空度波動控制在±0.05%以內 - 客戶價值： - 滿足5nm制程刻蝕線寬誤差＜1.2nm - 年維護成本降低37%（對比濕式真空系統） 2. 化學氣相沉積（CVD）：薄膜均勻性保障 -關鍵詞應用**：多級羅茨泵組 / 節能真空系統 / SEMI S2認證 - 技術痛點：沉積速率波動引發薄膜厚度不均（＞3%偏差） - 貝克方案： - R5羅茨泵+螺桿泵組合系統，抽速范圍覆蓋10-1000 m?/h - IE4超高能效設計，對比傳統方案節能28% - 通過SEMI S2/S8安全認證，適配全球主流CVD設備 - 客戶價值： - 薄膜沉積均勻性提升至99.6%（厚度偏差＜0.5%） - 每臺泵年減碳量達12.5噸（獲碳足跡認證） 3. 離子注入工藝：超低顆粒污染控制 - 關鍵詞應用：變頻節能真空泵 / ISO 5級潔凈度 / 智能預測維護 -技術痛點：真空腔內微粒污染導致芯片短路率上升 - 貝克方案： - 磁懸浮軸承技術，運行微粒釋放量＜5顆粒/m?（ISO 5級標準） - 智能變頻驅動，根據工藝需求自動調節功率，能耗降低35% - 內置IoT傳感器，實時監測振動/溫度數據，故障預警準確率＞92% - 客戶價值： - 芯片缺陷率從0.15%降至0.03% - 非計劃停機時間減少65% 貝克干式真空泵性能優勢對比
半導體客戶案例實證 案例1：某國際半導體大廠5nm產線升級 - 需求：解決3D NAND蝕刻工藝中的側壁粗糙度問題 - 方案：部署12套COBRA NC 2800干式泵系統，集成真空度閉環控制模塊 -成果： - 關鍵尺寸均勻性（CDU）從4.2nm優化至1.8nm - 單臺泵年耗電量從18.7萬度降至13.5萬度 - 獲得客戶“供應商技術創新獎” 案例2：第三代半導體GaN器件量產項目 挑戰：CVD工藝中氨氣腐蝕導致泵體壽命＜3000小時 -方案：定制化**耐腐蝕涂層R5羅茨泵組**+陶瓷密封組件 - 成效： - 設備MTBF（平均無故障時間）突破25,000小時 - 晶圓產能提升至每月15,000片 - 材料損耗率從1.2%降至0.4% 為先進制程量身定制的技術延伸 針對半導體行業未來趨勢，貝克同步推出： - AI驅動的真空系統：通過機器學習優化泵組運行參數，能耗再降15% - 納米級檢漏方案：氦質譜儀聯動檢測，泄漏率靈敏度達1×10??? Pa·m?/s - Hybrid混合動力泵：結合螺桿泵與渦旋泵優勢，抽速范圍擴展至0.1-2000 m?/h     |
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