| 福潤德程控擴散爐 |
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價格：1 元(人民幣) | 產地：山東青島市 |
| 最少起訂量：1臺 | 發貨地：山東青島市 | |
| 上架時間：2024-10-24 08:16:12 | 瀏覽量：6 | |
青島福潤德微電子設備有限公司
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| 經營模式：生產加工 | 公司類型：私營有限責任公司 | |
| 所屬行業：電子產品制造設備 | 主要客戶：企業 | |
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| 聯系人:張琪 () | 手機:13606426381 |
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擴散爐主要滿足半導體電力電子器件、大功率集成電路等行業，對所加工的硅片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。 主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統、 控制系統、超凈化操作系統等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。 擴散爐技術指標： 可處理硅片尺寸：2—12英寸 外型形式：臥式1—4管結構 工作溫度：200℃—1300℃ 恒溫區長度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃ 單點溫度穩定性、重復性：≤±1℃／24h 溫度斜變：可控升溫速率15℃／min 可控降溫速率：5℃／min 送片裝置：手動推拉 氣路系統：1—5路工藝氣體／管 氣體控制：手動浮子流量計 控制方式：程控 |
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