十九世紀中期，國外開始使用臭氧。70年代后，臭氧應用在發達已經達到了廣泛深入、家喻戶曉的程度。臭氧的應用在我國起步較晚，80年代后才開始在國內開展。而且研制和生產臭氧設備的技術也比較落后，臭氧必須在13000一1800V高壓下直接離子化生產。在臭氧消毒廣泛應用的今天，國內多家利研及企業進行了開發，目前利用先進的電真空技術和電子專用條件下的“雪崩”放電產生臭氧管已經批量生產，采用此技術的臭氧管在3000V電壓下激活空氣就能產生大量臭氧；對環境沒有特殊要求，不需要進行空氣除塵、除濕等復雜的預處理。

臭氧產生的同時，空氣中的氮(NZ)并不被活化，因此不會產生氮化合物等有毒物質，大術室和大地擴展了臭氧的應用范圍。當前，國內應用臭氧消毒滅菌的企業主要是醫藥行業，如潔凈廠房、手外科器械、食品業和環境，以及服裝材料、包裝材料等，而且臭氧消毒應用于水的終端消毒(醫藥用水、自來水、礦泉水、啤酒、飲料等)可以增加水中的氧量并改善味道。更多關于自來水消毒處理臭氧發生器的詳細資料請查看:http://www.hczhun.com/chouyang/