二手日本光馳窄帶濾光片/介質膜/ITO膜/金屬膜光學鍍膜機OTFC-1550CBI/DBI介紹

設備尺寸：

設備名稱 OTFC-1550CBI/DBI

真空室 SUS304, φ1550mm×1800mm (H)

&：

工件架 φ1400mm

工件架轉速 10rpm to 30rpm(可變)

光學膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光學膜厚監控儀

波長范圍：350nm to 1100nm

反射式/透射式

水晶式膜厚計 XTC/3+6點式水晶傳感器

蒸發源 電子槍2套

離子源 17cmRF離子源

機械性能：

排氣系統 機械泵+2個擴散泵+Polycold（或2個冷凝泵）

達到壓力 7.0×10-5Pa 以下

排氣時間 15分（大氣壓～1.3×10-3Pa)

基板溫度 ：350℃

工作條件：

設備尺寸 約5500mm(W)×7200mm(D)×3700mm(H)

電源 3相,200v,50/60Hz, 約120KVA

水流量 180升/分以上

空氣壓力 0.5MPa以上

重量 約10000kg

1.機械泵分類：機械泵種類繁多，常用滑閥式（主要用于大型設備）、四種類型的活塞往復式、定片式和旋片式(目前應用***，本文主要介紹)。

2.機械泵從大氣中工作，其主要參數為極限真空和抽氣速率，是設計和選擇機械泵的重要依據。單級泵可將容器從大氣泵送到1.0*10-1PA的極限真空，雙級機械泵可將容器從大氣泵送到6.7*10-2帕，甚至更高。泵送速率是指旋片泵按額定轉數運行時，單位時間內排出的氣體體積，可以用以下公式計算：Sth=2nvs=2nfsLL2nfs fs表示空腔截面積，L表示空腔長度，系數表示轉子每周旋轉兩次，Vs表示當轉子處于水平位置時，空腔體積，速度為n。機械泵的排氣效果也與電機的速度和皮帶的松緊度有關。當電機皮帶松動，電機速度慢時，機械泵的排氣效果會變差。因此，需要定期維護和檢查。機械泵油的密封效果也需要定期檢查。油太少，無法達到密封效果。泵內會漏氣，油太多，堵塞吸氣孔，無法吸氣和排氣。一般來說，

3.機械泵常用于去除干燥空氣，但不能去除含氧量高、爆炸性和腐蝕性氣體。機械泵通常用于去除***性氣體，但對水氣沒有良好的影響，因此不能去除水氣。旋轉泵的主要部件是定子、轉子、彈片等，轉子在定子中，但與定子不同，如兩個內切割圓，轉子槽中有兩個彈片，兩個彈片中間有彈簧，以確保彈片靠近定子的內壁。

鍍膜機設備清單

二手日本光馳窄帶濾光片/介質膜/ITO膜/金屬膜光學鍍膜機OTFC-1550CBI/DBI圖片