上海伯東代理美國原裝進口 KRI 霍爾離子源 eH 3000-中國PLC網

上海伯東代理美國原裝進口 KRI 霍爾離子源 eH 3000

	價格：元(人民幣)	產地：美國
	最少起訂量：1個	發貨地：上海
	上架時間：2023-03-15 15:33:53	瀏覽量：90
	伯東企業(上海)有限公司
	經營模式：代理商	公司類型：外商獨資
	所屬行業：真空泵	主要客戶：
	在線咨詢

聯系方式

聯系人:羅 (先生)	手機:15201951076
電話:	傳真:
郵箱:marketing@hakuto-vacuum.cn	地址:上海市浦東新區新金橋路1888號36號樓7樓702室 201206

詳細介紹

因產品配置不同, 價格貨期需要電議, 圖片僅供參考, 一切以實際成交合同為準

KRI 霍爾離子源 eH 3000
上海伯東代理美國原裝進口 KRI 霍爾離子源 eH 3000 適合大型真空系統, 與友廠大功率離子源對比, eH 3000 是目前市場上高效, 提供更高離子束流的離子源.
尺寸: 直徑= 9.7“ 高= 6”
放電電壓 / 電流: 50-300V / 20A
操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機前體
KRI 霍爾離子源 eH 3000 特性
? 水冷 - 加速冷卻
? 可拆卸陽極組件 - 易于維護; 維護時,最大限度地減少停機時間; 即插即用備用陽極
? 寬波束高放電電流 - 高電流密度; 均勻的蝕刻率; 刻蝕效率高; 高離子輔助鍍膜 IAD 效率
? 多用途 - 適用于 Load lock / 超高真空系統; 安裝方便
? 等離子轉換和穩定的功率控制
KRI 霍爾離子源 eH 3000 技術參數

型號	eH3000 / eH3000L / eH3000M / eH3000LE
供電	DC magnetic confinement
- 電壓	50-250V VDC
- 離子源直徑	~ 7 cm
- 陽極結構	模塊化
電源控制	eHx-25020A
配置	-
- 陰極中和器	Filament, Sidewinder Filament or Hollow Cathode
- 離子束發散角度	> 45° (hwhm)
- 陽極	標準或 Grooved
- 水冷	前板水冷
- 底座	移動或快接法蘭
- 高度	4.0'
- 直徑	5.7'
- 加工材料	金屬電介質半導體
- 工藝氣體	Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors
- 安裝距離	16-45”
- 自動控制	控制4種氣體

* 可選: 可調角度的支架;
KRI 霍爾離子源 eH 3000 應用領域
濺鍍和蒸發鍍膜 PC
輔助鍍膜 ( 光學鍍膜 ) IBAD
表面改性, 激活 SM
直接沉積 DD
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發生產考夫曼離子源, 霍爾離子源和射頻離子源. 美國考夫曼離子源歷經 40 年改良及發展已取得多項專利. 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領域, 上海伯東是美國考夫曼離子源中國總代理.

若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式:

上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322                 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
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