超純水設備工藝技術與傳統的蒸餾法相比較，超純水設備用反滲透法為基礎再聯合了最新電去離子(EDI)技術的新工藝具有明顯的優越性和先進性。

1.高效節能。主要有多級蒸餾、高壓分級蒸餾和離心凈化蒸餾幾種工藝。所有蒸餾方法均在120°C高溫狀態下進行，所以可以得到完全無菌的水。因此，運行當中能源的消耗相當大;同時因為溫度較高，所有設備組成部分必須耐受高溫沖擊，設備的造價及維護費用高昂。反滲透技術結合高效臭氧消毒方法，整個系統工作于常溫、低壓狀態，設備投資省，運行維護費用低，可靠節能：膜處理法的運行成本僅為蒸餾方法的12-15%，非常經濟

2.穩定可靠。隨著工業化進程的不斷加快，大量而成份復雜的廢物排放使世界范圍的污染變得日益嚴重，其中水資源的污染較之以往更加嚴峻。易揮發有機污染物因其沸點大都低于水的汽化溫度，如不加處理，蒸餾過程中極易進入產成水中，單純蒸餾方法無法將其有效去除，必須倚重活性碳吸附等過濾辦法，增加了系統和水質的不穩定性。膜法工藝采用多介質過濾器進行預處理;反滲透膜的微孔透過式工作原理保證了去除水體中所有較大的離子、分子，可以輕松去除分子直徑更大的易揮發有機污染物質，從根本上保證有機物指標達到藥典規定指標。利用超濾，反滲透，EDI等膜元件組合集成的膜法工藝，構成了沒有酸堿的脫鹽系統，其中超濾系統作為預處理，實現了反滲透系統的高效，安全運行，使用高脫鹽率反滲透膜處理，世紀反滲透產水水質滿足EDI的進水標準。EDI膜元件的模塊化設計，可方便使組合任意產水規模，徹底避免酸堿，縮小占地空間，適用各種用途的脫鹽系統，使水處理技術的發展上升到了新的高度。