光氧凈化設備利用光束照射惡臭氣體，裂解惡臭氣體如：氨、胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在   紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。利用高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對物具有的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有的效果。惡臭氣體利用排風設備輸入到本凈化設備后，凈化設備運用C波光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。利用UV光束裂解惡臭氣體中的分子鍵，破壞的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，達到脫臭及殺滅的目的。