rca濕法腐蝕清洗機設備 |
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價格: 元(人民幣) | 產地:本地 |
最少起訂量:1 | 發貨地:本地至全國 | |
上架時間:2019-05-07 08:00:10 | 瀏覽量:175 | |
南通華林科納半導體設備有限公司
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經營模式:其他 | 公司類型:華林科納cse | |
所屬行業:分立半導體 | 主要客戶:全國 | |
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聯系人:關先生 () | 手機: |
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郵箱:1720920631@qq.com | 地址:江蘇南通如皋市城南街道新桃路90號 |
是否進口否 加工定制是 類型可定制 適用領域電子行業 用途工業用 槽數可定制 型號cse 品牌cse 展開 rca濕法腐蝕清洗機設備 點我去除廣告 一、設備概況 設備名稱:rca濕法腐蝕清洗機 整機尺寸:具體尺寸根據實際圖紙確定 二、使用對象 硅晶片2-12inch 三、適用領域 半導體、太陽能、液晶、mems等 四、設備用途 硅晶片化學腐蝕和清洗的設備 五、設備包括 設備主體、電氣控制部分、化學工藝槽、純水清洗槽等;并提供與廠務供電、供氣、供水、排廢水、排氣系統配套的接口等。 六、主體構造特點 1、設備為半敞開式,主體使用進口wpp15和10mm厚板材,結構設計充分考慮長期工作在酸腐蝕環境,堅固耐用,雙層防漏,機臺底盤采用德國產瓷白pp板,熱焊接而成,可長期工作在酸堿腐蝕環境中 2、主體:設備為半敞開式,主體使用進口wpp15和10mm厚板材,結構設計充分考慮長期工作在酸腐蝕環境,堅固耐用,雙層防漏,機臺底盤采用德國產瓷白pp板,熱焊接而成,可長期工作在酸堿腐蝕環境中; 3、骨架:鋼骨架+pp德國勞施領板組合而成,防止外殼銹蝕。 4、儲物區:位于工作臺面左側,約280mm寬,儲物區地板有漏液孔和底部支撐; 5、安全門:前側下開透明安全門,腳踏控制; 6、工藝槽:模組化設計,腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個統一的承漏底盤中。底盤采用滿焊接工藝加工而成,杜絕機臺的滲漏危險; 7、管路系統:位于設備下部,所有工藝槽、管路、閥門部分均有清晰的標簽注明;藥液管路采用pfa管,純水管路采用白色npp噴淋管,化學腐蝕槽廢液、沖洗廢水通過專用管道排放; 8、電氣保護:電器控制、氣路控制和工藝槽控制部份在機臺頂部電控區,電氣元件有充分的防護以免酸霧腐蝕以保障設備性能運行穩定可靠;所有可能與酸霧接觸的電氣及線路均經pfa防腐隔絕處理,電氣柜cda/n2充氣保護其中的電器控制元件; 9、排風:后部排風和下沉式設計,風量可調節,對操作員有安全保護; 10、送風:設備頂部有ffu百級凈化送風裝置,設備沿前側板鑲嵌入墻體,保證后上部送風; 11、照明:工作區頂部配有雙光日光燈照明; 12、水汽槍:機臺前部配備有ptfe純水槍和ptfe氮氣槍各1只置于右側,方便操作員手工清洗槽體或工件; 13、機臺支腳:有滑輪裝置及固定裝置,并且有高低調整及鎖定功能。 14、安全保障:完善的報警和保護設計,排風壓力、液位、排液均有硬件或軟件互鎖,直觀的操作界面,清晰的信息提示,保障了生產、工藝控制和安全性三色警示燈置于機臺上方明顯處。 |
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