地埋式污水處理設備常用的技術有：早期無動力地埋式污水處理設施技術、UUAR地埋式污水處理設施、早期有動力地埋式污水處理設施、A/O法化學除磷法地埋式污水處理設施、一體化小型地埋式污水處理設施技術、SBR工藝、一體化生物濾池地埋式污水處理設施工藝。UUAR工藝采用污水自流的方式，應用厭氧生物膜技術及推流原理，采用內充固定空心球狀填料的地下厭氧管道式或折流式反應器裝置為處理設備，利用附著于空心球狀填料內外表面或懸浮的專門馴化專性厭氧或兼氧微生物去除生活污水中的有機污染物、病原菌和部分氮、磷，從而達到凈化生活污水的目的。出水水質穩定達到國家一級排放標準。

在O級設置有機負荷較低的好氧生物接觸氧化池。在O級池是主要存在好氧微生物及處氧型細菌(硝化菌)。其中好氧微生物將有機物分解成CO2和H2O；自養型細菌(硝化菌)利用有機物分解產生的無機碳或空氣中的CO2作為營養源，將污水中的NHˉ3-N轉化成Nˉ2-ON、Nˉ3-ON、O級池的出水部分回流到A級池，為A級池提供電子受體，通過反硝化作用終消除氮污染。A級生物池：A級生物池為生物接觸氧化池，填料為彈性立體填料。O級生物池(二級)：O級生物池為生物接觸氧化池，填料為彈性立體填料。二沉池、污泥池：二沉池、污泥池為豎流式沉淀池。清水(消毒)池：產品清水(消毒)池為旋流反應池。