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              5100系列質量流量控制器
              5100系列質量流量控制器 價格:  元(人民幣) 產地:日本
              最少起訂量:1 發貨地:上海
              上架時間:2020-05-06 09:08:31 瀏覽量:1283
              上海盈熾商貿有限公司  
              經營模式:貿易型 公司類型:
              所屬行業:空氣泵 主要客戶:
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              聯系方式

              聯系人: (先生) 手機:18918094369
              電話: 傳真:
              郵箱:2748189220@qq.com 地址:上海市

              詳細介紹

              5100系列是一款質量流量控制器,它實現了無焊接結構(VCR規格),金屬密封的基本性能,以及半導體工藝氣體控制所需的±1%精度。
              板載傳感器的響應能力。它具有出色的分辨率,可以處理1 sccm(N2)的微流量。

               通過使用溫度跟蹤型電流差檢測流量傳感器實現高精度,高速傳感器響應

              采用電磁鐵電磁閥常閉閥

              由于無焊接結構(VCR規格),金屬密封,泄漏低

              采用隔膜閥,減少死體積

              面對面,體型和接線連接與其他公司的更換兼容


              技術參數:

              流量范圍
              (N2轉換20°C / 1 ATM)
              1SCCM~20SLM(任意條件選擇)
              傳感器方式 熱繞組傳感器


              閥門方式 比例螺線管閥門(未通電時關閉)
              控制范圍 2~100%(F.S.)
              響應速度 1秒內(±2%F.S.內)
              準確性 ±1%F.S.
              溫度系數 0.1%F.S./°C(15~35°C)
              再現性 ±0.2%F.S.
              操作壓差范圍 F.S.≤5SLM50. 300kPa
              F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa
              選項:低壓差規格(LP)可根據條件制造
              可工作壓力 300kPa(G)以下
              耐壓 980kPa(G)
              He泄漏率 1 x 10-11 Pa.m3/s以下
              允許周圍溫度 0~50℃
              允許環境濕度 10~90%RH(無結露)
              氣體接觸材料 車身SUS316L
              隔膜SUS316L
              閥座PTFE
              密封材料SUS316L,Ni,Au
              選項:SUS密封(SU),內部磨削規格(KP)
              電氣連接 Dsub 9針KFC 標準(符合SEMI標準)
              流量設定
              輸入信號
              0~5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)
              流量輸出信號 0~5 VDC(外部負載電阻250kΩ以上)
              所需電源 +15 VDC(±5%)100 mA,
              -15 VDC(±5%)200 mA
              配件(車身尺寸) 標準1/4 VCR等效選項1/4 SWL
              重量


              約1000g


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