隨著科學技術的發展，對計量技術的要求越來越高，尤其是當代宇航和天文等尖端技術的發展，要求計量向納米技術發展，納米計量和標定技術成為目前各學科必須解決的問題。因此國內外儀器計量部門都在研究和生產各種納米級準確度的計量儀器，并探討其標定和校正方法，以滿足科學技術發展的需要。近幾年來，世界各國相繼研制成功了各種納米量級的測微儀，它們包括激光干涉儀、電容測微儀和電感測微儀，這些測微儀雖然已經在許多學科及部門得到了廣泛應用，有的測微儀的準確度到底如何?就目前的方法是無法進行測定的。另外，還有一些微位移進給器件，例如壓電陶瓷等，雖然應用范圍很廣，但其非線性和位移準確度如何?有時也沒有可靠的檢測手段。
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一、基于有基準的儀器校正技術

有基準方法是傳統的對比儀器校正，此方法在儀器計量部門對各種新設備的標定、舊設備的校正以及各個學科的實際工程技術測量中都得到了廣泛的應用。

有基準儀器校正法的基本原理是：對于任何被測量新的或在用過程中的檢測設備，為了確定其測量結果的可靠性，通常采用比被測量準確度更高等級的檢測設備，準確地標定其在測量范圍內的測量準確度、分辨力、穩定性等性能指標。從該方法的原理看出，對于長度計量的位移傳感器的儀器校正技術，必須解決兩個關鍵性問題：一是具有更高等級準確度、更高分辨力的測微系統；二是能夠提供足夠小的達到測微系統分辨力的微位移機構。只有滿足了上述兩個條件，才能真正對測微系統的分辨力、準確度、穩定性等性能指標給予精確的評價。對于具有有效測量面積位移傳感器的測微系統，采用這種原理進行標定的方法主要有以下幾種：

1、小角度檢查儀(正弦尺)標定方法儀器校正.儀器校驗.儀器校準.儀器檢測.儀器計量.儀器外校.量具校準.量具校正.量具校驗.量具外校.計量器具校準.計量器具校正.計量器具校驗.計量器具外校.檢測設備校準.檢測設備校正.檢測設備校驗.檢測設備外校.

用小角度檢查儀和標準量塊對精密電容測微儀的標定方法是80年代末期，儀器計量部門針對具有有效測量面積的電容和電感測微儀而制定的一種標定方法，其具體的工作原理如圖1-1所示。

 電感測微儀的儀器校正技術

在小角度檢查儀左、右兩端的指示計安裝架中，分別裝上接觸式光干涉儀，并將事先經過精確調整或加工的孔距為50±0.02mm的夾具，裝在接觸式干涉儀上。在夾具左端的孔中裝上被標定測微儀的傳感器，經調整，使傳感器測頭軸心線端點與接觸式干涉儀測頭頂點在同一條直線上，且和橋形工作臺縱向對稱中線相重合，安裝結果如圖1-1所示。小角度檢查儀經過上述調整，構成了50：500即1:10的杠桿機構，借助框式水準器，調整橋形工作臺使其臺面基本水平。根據被標定測微儀的實際情況確定受檢點的數值，以此為依據選用相應尺寸和等級的量塊，如檢定量程為±10mm的精密電容式測微儀時，則選用1，1.005和1.010mm的量塊。為使接觸式干涉儀定位可靠，再選用一塊不低于5等的1mm量塊。儀器校正.儀器校驗.儀器校準.儀器檢測.儀器計量.儀器外校.量具校準.量具校正.量具校驗.量具外校.計量器具校準.計量器具校正.計量器具校驗.計量器具外校.檢測設備校準.檢測設備校正.檢測設備校驗.檢測設備外校.