殘余氣體分析儀 PrismaPro
上海伯東德國 Pfeiffer 殘余氣體分析儀(四級桿質譜儀)集高靈敏度, 高穩定性和智能操作于一體, 配置新一代的操作軟件 PV MassSpec, 可定量定性評估真空系統中的殘余氣體成分. 最低可檢測分壓 3 X10-15 hPa.
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 特性:
模塊化設計保證最佳兼容性, JSON 編程界面和多種接口易于系統集成
分析儀器和電子單元可靈活互換
雙燈絲延長工作時間
最低可檢測分壓 3 X10-15 hPa
可直接連接真空計, 方便測量壓力
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 技術參數:
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型號
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QMG 250 F1
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QMG 250 F2
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QMG 250 F3
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QMG 250 M1
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QMG 250 M2
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QMG 250 M3
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檢測器
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法拉第 Faraday (F)
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電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
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質量數 amu
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1–100
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1–200
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1–300
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1–100
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1–200
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1–300
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四極桿直徑／長度
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6 /125 mm
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最小檢測極限 F hPa *1,2
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4X10-13
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5X10-13
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7X10-13
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-
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-
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-
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最小檢測極限 M hPa *1,2
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-
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-
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-
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3X10-15
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4X10-15
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5X10-15
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對Ar的靈敏度 F A/hPa*3
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5X10-4
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4X10-4
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3X10-4
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5X10-4
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4X10-4
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3X10-4
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最大工作壓力 F hPa
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5X10-4
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最大工作壓力 M hPa
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-
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-
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-
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5X10-5
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5X10-5
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5X10-5
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對臨近質量數的影響*1
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< 10 ppm
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< 20 ppm
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< 50 ppm
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< 10 ppm
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< 20 ppm
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< 50 ppm
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操作溫度 分析
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200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
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操作溫度 電子
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5 – 50 °C
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烘烤溫度 分析
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300 °C
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連接法蘭
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DN 40 CF-F
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保壓時間
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1 ms – 16 s/amu
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重量
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2.5 kg
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3.2 kg
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* 1 開放式離子源,
* 2 停留時間 4秒
*3 與C-SEM相比, 具有較高的靈敏度
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 標準通訊接口:
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 可擴展的通訊接口:
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