測量時，工件裝夾在工作臺的夾具上，對于 XT-MMD-100B 系列輪廓儀其測頭、數字光柵傳感器以及光柵位移傳感器動尺隨氣浮導軌沿圖中所示的方向（即 X 軸正方向）運動；整個運動過程以氣浮導軌作為測量基準，保證整個測量系統的精度。數字光柵傳感器計量 Y 軸方向（即工件徑向）變化的位移值，光柵位移傳感器計量 X 軸方向（即工件軸向）的運動位移量，從而得出工件輪廓在 XY 坐標系中的坐標值。測量軟件將所得 X、Y 反映的位移值經采集存檔，進而利用軟件的數據處理功能處理所得數據，得出各種所需測量項目結果。