光氧催化法
利用催化劑的光催化氧化性，使吸附在其表面的VOCs發生還原反應，終轉變為CO2、H2O及無機小分子物質。具有光催化作用的半導體催化劑，在吸收了大于其帶隙能（Eg）的光子時，電子從充滿的價帶躍遷到空的導帶，而在價帶上留下帶正電的空穴（h+）。光致空穴具有很強的氧化性，能將其表面吸附的OH-和H2O氧化成·OH，·OH幾乎可以氧化所有的有機物。常用的金屬氧化物光催化劑有：Fe2O3、WO3、Cr2O3、ZnO、ZrO、TiO2等。由于TiO2來源廣，化學穩定性和催化活性高，沒有毒性，成為試驗研究中常用的光催化劑。
前期發展將經過炭黑改性的TiO2負載在鋁片或不銹鋼網上，用低壓汞燈作光源，在甲苯為10-14mg/m3時得到了80%-88%的去除。將TiO2涂覆在玻璃、瓷磚、日光燈管上，在普通日光下3h后甲苯的去除率分別達到27.8%、23.1%、15.8%。后期發展用三氧乙烯對TiO2薄膜進行預處理后，甲苯的半衰期由35min縮短至8min，很多VOCs的光催化反應速度明顯加快，原因是反應生成的氯吸附在催化劑表面生成氯游離基引起發鏈反應，加快了反應進程，提高了氣相光催化反應速率。

同時達到高效消毒殺菌的作用。 惡臭氣體（工業廢氣）UV高效光解凈化設備適用范圍 煉油廠、橡膠廠、化工廠、制藥廠、污水處理廠、垃圾轉運站、餐廚垃圾處理廠、飼料魚粉廠、印染廠、噴涂廠等惡臭氣體的脫臭凈化處理。 等離子凈化器利用催化氧化劑的強氧化性和高吸附性，持續地對等離子體未處理盡的污染物和生成的物質進行催化氧化反應， 使有害廢氣經多級凈化后最終達標排放UV光氧機本體上設置有電流經鎮流器；電流經鎮流器上設置有均勻對稱設置有多個光解燈管，光解燈管上設置石英套管， 石英套管與電流經鎮流器接觸端通過石英套管壓盤固定在電流經鎮流器上，且石英套管壓盤與石英套管之間設置有密封膠套； 石英套管的外側端部上設置套裝有石英套管壓盤，石英套管壓盤外側設置有封頭螺母；封頭螺母和石英套管壓盤之間設置有密封膠套；

除煙氣等離子凈化器技術原理簡述：
在波長范圍 170nm-184.9nm（704 kj/mol - 647 kj/mol）高能紫外線的作用下，一方面空氣中的氧氣被裂解，然后組合產生臭氧；另一方面將惡臭氣體的化學鍵斷裂，使之形成游離態的原子或基團；同時產生的臭氧參與到反應過程中，使惡臭氣體終被裂解、氧化生成簡單的穩定的化合物，如CO2、H2O、SO2、N2等。
注：
1、惡臭物質能否被光解除臭設備裂解，取決于其化學鍵鍵能是否比所提供的UV光子的能量要低。
2、裂解反應的時間極短（＜0.01s），氧化反應的時間需2-3s。
3、提供的UV光子總功率不夠或者含氧量不足，會因為裂解或氧化不完全而生成一些中間副產物，從而影響凈化效率。對于高濃度大分子的有機惡臭物質體現得較為明顯。
4、UV光解凈化的長期穩定、高效，需要反應溫度＜70℃，粉塵量＜100mg/m3，相對濕度＜99%。
5、條件滿足的情況下，UV光解凈化的凈化效率可達到99.9%以上。

運行穩定可靠自重輕:處理10000m3/h風量設備占地面積使惡臭氣體物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳4、運行成本低:本設備無任何機械動作

紫外光催化技術對于某些有機化合物的部分化學鍵鍵能高于所提供的UV光子能量，如甲醛的“C=O”鍵的鍵能為728kj/mol。目前我們所提供的UV光子的能量為 704kj/mol（正在研發742kj/mol和800kj/mol）。甲醛在170nm的UV紫外光的照射下，會裂解生成游離態的[C=O]*、 H*。一部分[C=O]*與03反應生成CO2，一部分[C=O]*在經過與N2等惰性物質碰撞后失去能量，生成CO，臭氧量充足時可將部分CO氧化成CO2 。
如果提供的UV紫外線波長為160nm（742kj/mol），則反應過程相對就更加簡單一些：甲醛會被直接裂解成游離態的C*、H*，會被O3直接氧化成CO2和H2O。
以上可見，不同波段的UV紫外線對于同一種物質的光解反應可以是不一樣的，UV紫外線的波長越短，即UV光子能量越高，物質的光解反應就越容易，反之越難，甚至沒有任何效果。