湖北瑞澤35Nm3/h氬氣純化裝置

概述

氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護氣體，為了提高硅晶體的質量，如何選用較高純度的氬氣，是制作硅晶體的一個議題。通過對本裝置的使用，氬氣的純度其中氧含量小于1ppm時，水分也小于1ppm時，制作出的單晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm，這樣就提高了單晶的使用壽命并能達到要求，贏得客戶的滿意和市場的需求。

由于一般液氬汽化后未經過純化處理，它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有時氣體供應商提供的氬氣超過了此范圍，使用氬氣的客戶不知道其質量，所以往往給生產產品質量造成影響。有了氬氣純化裝置后不論氬原料氣的質量如何，只要經過純化裝置的處理后，進入拉晶爐的氬氣，純度始終是恒定的。

一般氧含量小于0.5ppm，水分小于1ppm，這樣穩定的氬氣對生產晶體的質量是有保證的。

本公司也可根據客戶要求，直接做高壓的，這樣就可省掉使用模壓機增壓工序。

     還可根據客戶要求，配備分析儀在線時時檢測設備中氣體純度。

設備說明

1.凈化則采用了世界最先進的凈化材料。其特點有吸附深度好，吸收雜質氣體量大的特點，最高純度可達99.9999%以上。
2.并在最后安裝了小于1μ的金屬過濾器。保證了氣體粉末的要求。

3.本裝置的閥門采用國內外專業閥門公司的優質產品，保證了產品的高純度無滲透及安全可靠性。
4.設備中全部容器、管道、閥門均為不銹鋼材質。
5.設備中的主要控制儀表全部采用國內外先進產品。
6.接頭采用先進的高純接頭,保證了無滲透。
7.外觀設計采用國際流行顏色及形式,使產品更美觀。
8.設備可根據客戶要求在線加裝微氧分析儀和微量水分析儀使凈化后氣體得到監測。避免了因設備問題的損失。
9.本設備在金屬保護行業、電子、電光源、科研、氣體、分析、醫學等領域以及光譜儀、氣相色譜儀、科學儀器等的配套使用設備，得到了廣泛的應用。

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售后服務

為了解除用戶選用我公司產品的后顧之憂，我們一貫奉行如下的滿意服務標準。

1.        如果產品本身存在任何質量問題，我公司負責包修，包換，包退；

2.        如果產品在運輸途中損壞，我公司負責包修，包換，包退；

3.        在保修期內的使用損壞，我公司負責包修，包換，包退；

4.        產品的免費保修期為一年；

5.        我公司提供終身有償維修服務，只收取相關維修材料費用及差旅費用。

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