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              二維材料設備CVD系統
              二維材料設備CVD系統 價格:55500  元(人民幣) 產地:安徽合肥市
              最少起訂量:1 發貨地:合肥
              上架時間:2018-06-06 11:06:31 瀏覽量:1040
              安徽貝意克設備技術有限公司  
              經營模式:生產加工 公司類型:其他有限責任公司
              所屬行業:熱處理設備 主要客戶:高等院校及科研院所
                在線咨詢 跟我QQ洽談

              聯系方式

              聯系人:李曉麗 (小姐) 手機:17354094989
              電話: 傳真:
              郵箱:1085847693@qq.com 地址:安徽省合肥市科學大道110號

              詳細介紹

              此款CVD系統前端配有可加熱到400℃的預加熱器,輔助二維材料蒸發,后端為溫區管式爐,溫度控制精確,操作簡便。并配質量流量計系統和真空系統,可以準確的反應腔體內部的氣體壓力和氣體流量,對于做低壓CVD實驗非常實用,重復性好。

              硫粉預熱器

              工作溫度:400℃

              最高溫度:1200℃

              最快升溫速率:≤30℃/min

              推薦升溫速率:10℃/min

              控溫方式:智能化30段可編程控制

              工作電壓:AC220V

              額定功率:800W

              控溫精度:±1℃

              加熱元件:電阻絲

               

               

               

               

               

               

               

               

               

              加熱區參數:

               

              額定功率:5kw

              最高溫度:1200℃

              工作溫度:1100℃

              最大升降溫速率:≤30℃/min

              爐管尺寸:高純度石英管Φ25\Φ50\Φ60\Φ80\Φ100X1650mm  (管徑可選)

              加熱區長度:200+200mm  

              恒溫區長度:290mm

              控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能。

              標準配件:石英管1支,莫來石管堵2對,不銹鋼法蘭1套,硅膠密封圈2套,高溫手套1副,坩堝鉤1支;

              尺寸:約 550×380×600 mm(爐子)

              約:1700×380×620 mm(爐子+滑軌)

              可選配單溫區、雙溫區、三溫區等加熱區。

               

               

               

               

               

               

               

              氣路系統參數:

               

              質量流量計參考量程(N2)100sccm、200sccm、500sccm (量程可選)

              準確度:±1.5%

              線性:±0.51.5%

              重復精度:±0.2%

              響應時間:氣特性:14 Sec,電特性:10 Sec

              工作壓差范圍:0.10.5 MPa

              最大壓力:3MPa

              接口:Φ6,1/4''

              顯示:4位數字顯示

              工作環境溫度:5~45高純氣體             

              內外雙拋不銹鋼管:Φ6

              壓力真空表:-0.10.15 MPa, 0.01 MPa/

              截止閥:Φ6

              連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。

              可選配一路、兩路、三路、四路等以上質量流量計。

               

               

               

               

               

               

               

              低真空系統參數:

               

              國產油泵型號:BSV-10

              抽速:10m?/h

              極限真空度:5*10-1pa

              電源:220v 50hz

              電機功率:0.4kw  

              進排氣連接口:KF25

              用油量:1.1L

              電機轉速:1440rpm

              工作環境溫度:5-40℃

              噪音:≤56db

              電阻真空計參數:

              1.配用規管:ZJ-52T電阻規,

              2.測量范圍: 10 5 ~10 -1 Pa,

              3.測量路數: 1路

              4.控制范圍: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

              5.控制方式:繼電器觸點輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載,

              6.電源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

              7.功耗: 20W

               

               

               

               使用注意事項

               

               

               

               

               

               

              • 爐管內氣壓不可高于0.02MPa 。  
              • 當爐體溫度高于1000時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的 氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。
              •  石英管的長時間使用溫度<1100℃。
              •  對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)。

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