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低溫等離子技術在是廢氣處理的前沿技術，對煙塵處理方面優勢顯著。其基本原理是在電場在高壓作用下，產生高能電子，當電子平均能量超過目標治理物分子化學鍵能時， 分子鍵斷裂，達到消除氣態污染物的目的。
由于輻射摩擦等原因，空氣中含有少量的自由離子，單靠這些自由離子是不可能使含塵空氣中的塵粒充分荷電的。因此，要利用靜電使粉塵分離須具備兩個基本條件，一是存在使粉塵荷電的電場；二是存在使荷電粉塵顆粒分離的電場。一般的靜電除塵器采用荷電電場和分離電場合一的方法。

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