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超高真空光柵
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RGH20F UHV
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RGH20F UHV圓光柵讀數頭與雷尼紹的RESR圓光柵兼容
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在超高真空條件下提供保真度極高的直接位置反饋
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該產品廣泛應用在半導體和科學設備上，其良好的性能在多年實際應用中已得到驗證
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概述
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RGH20F UHV圓光柵讀數頭與雷尼紹的RESR圓光柵兼容，在超高真空條件下提供保真度極高的直接位置反饋。RGH20F UHV廣泛應用于對性能和可靠性要求極高的半導體和科學設備上，其良好的性能在多年實際應用中已得到驗證。
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UHV系列的用途
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提高產量和收益
消除速度/分辨率局限
提高運動控制性能
降低損壞風險
RESOLUTE UHV是真正的絕對式光柵，開啟后可立即采集絕對位置
移動軸時不會有碰撞風險 RESOLUTE UHV任何時候都能保持全面控制，即使斷電后也是如此 增強可靠性
RESOLUTE UHV具有內置的位置檢查算法
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UHV讀數頭的特性與優點
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由真空兼容材料和粘合劑制成，出氣率低，進行殘余氣體分析 (RGA) 經驗證不會污染真空環境
120 °C烘焙溫度
非接觸開放式光學系統提供高速、可靠的操作，摩擦和磨損均為零
具備工業標準的模擬和數字輸出，分辨率達1 nm
電耗低、發熱小
排氣密封
自適應電路可確保高精度、長期工作的可靠性和低周期誤差（RGH25F UHV和RGH20F UHV為±50 nm，TONiC UHV為±30 nm）
帶有真空兼容涂層線路的RFI屏蔽線纜
TONiC UHV光柵具有光學參考零位
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與REF接口兼容
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為了進一步提高性能和長期可靠性，由符合RoHS標準的REF接口取代了RGB和RGF系列，它具有動態信號調節功能和5 nm的分辨率。
RGH25F UHV讀數頭由精選的低除氣速率材料和粘合劑在指定的潔凈條件下制造而成。該產品封裝在一個真空兼容袋中以維持清潔。
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真空兼容型鋼帶柵尺
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RGS20-S鋼帶柵尺提供具有高重復性的測量標準。該標準適用于半導體和科學產業中使用的最常見的工程材料，包括ZeroMet?、Zerodur®、不銹鋼和鋁。當使用推薦的環氧樹脂將柵尺的末端鎖入基體時，柵尺適應基體的熱膨脹系數，從而表現出如同基體本身被刻劃柵線的特性。
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殘留氣體分析 (RGA) 測試結果
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通過獨立殘留氣體分析 (RGA) 測試證明整個系統適用于潔凈真空條件。它還適用于超真空中使用的120攝氏度的烘焙。典型應用包括晶片處理、晶片檢測和科研。
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