GNAD系列 半導體材料精密研磨拋光機
? 整機防腐，獨立可移動式觸摸操控系統；
? 多通道進料系統；
? 夾具可在線監測樣品的去除量，精度可實現 0.1um。壓力的范圍可實現 0-3.5 公斤。并可根據用戶工藝要求定制各種角度附件等非標夾 具附件，實現對非標形狀樣品的拋光及角度拋光。
? 工藝參數存儲以及定時功能；
? 真空系統通過抽真空的方式將樣品直接吸附在樣品固定裝置底面。根據不同工藝要求，真空系統可以直接吸附樣品或者直接吸附貼 有樣品的石英襯底片。
? 設備具有設備定時功能，可連續工作運行時間 10小時。同時，設備具有預設工作時間功能，預設時間達到，設備自動停機。