產品參數 |
品牌 | 艾姆希 |
是否定制 | 否 |
是否進口 | 是 |
產地 | 北京 |
功能用途 | 晶圓研磨拋光 |
適用范圍 | 光纖材料 半導體材料 晶圓 |
盤片直徑 | 152mm |
可加工晶圓尺寸 | 6 inch |
工位 | 4 |
可加工厚度 | 50μm-10mm |
工作時間 | 10h |
發貨地 | 北京 |
可加工材料 | 硅、 碳化硅、 金剛石、陶瓷、氮化 鎵 、石英 、 銻化鎵、 磷化銦、 砷 化鎵、 碲鋅鎘、 碲鎘汞、 鈮酸鋰等 多種材料半導體材料 |
進料通道 | 3通道 |
可售賣地 | 全國 |
材質 | 防腐材料 |
類型 | 臺式拋光機 |
型號 | GNAD-T | |
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簡介
GNAD系列是先進一代的精密研磨和拋光機,為材料加工應用提供了顯著的改進和優勢,包括
Si,SiC,GaN,InP,GaAs,CZT和MCT等。
所有功能均可由獨立的可拆卸控制系統控制。根據工藝的具體要求,可拆卸控制系統可以選擇WIFI/藍牙或有線模式來控制機器。
● 獨立遠程控制系統
● 通過一個控制系統進行多機控制
● 自動溫度和冷卻控制
● 多進料系統
● 自動清潔控制系統
帶刻度盤的精密夾具可以指示庫存去除,精度數據為0.1微米。
夾具自動旋轉控制系統可以驅動和控制夾具轉速從0-100rpm。掃描范圍控制在0-100,此功能可以減少拋光時間,提高去除率和最終的粗糙度和平坦度。
研磨/拋光板的基本操作由主驅動部分控制。從這里設置板速并顯示在LCD上。這在0到100 rpm的范圍內是無限可變的,以確保適合所選過程的速度。
自動板材平整度控制系統持續監控板材形狀,并自動糾正與操作員設置的所需形狀的任何偏差。
自動清潔控制系統將自動清潔板和可拆卸滴水盤,時間和進料將受到控制。主驅動器面板上的計時器可設置為運行機器長達 10 小時。操作員的持續監督是不必要的。它將為操作員提供更多的自由度,因為在選定的時間或厚度之后,加工將自動停止。
可加工材料:
硅、 碳化硅、 金剛石、陶瓷、氮化
鎵 、石英 、 銻化鎵、 磷化銦、 砷
化鎵、 碲鋅鎘、 碲鎘汞、 鈮酸鋰等
多種材料半導體材料。
