產品參數 |
品牌 | 德國SURAGUS |
是否支持加工定制 | 否 |
重量 | 10kg |
原理 | 非接觸式渦流 |
測試范圍地電導率 | 1 – 10 nm;2 – 5 精度 |
基材 | 薄膜、玻璃、晶圓 |
測試范圍標準電導率 | 10 – 1,000 nm;1 – 3 精度 |
設備尺寸 | 290 毫米 x 140 毫米 x 445 毫米 |
測試范圍高電導率 | 1 – 100 μm;0.5 – 3 精度 |
最大樣品厚度/傳感器間隙 | 3 / 5 / 10 / 25 m |
可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | |
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EddyCus? TF Lab 2020MT允許對透明和非透明層進行非接觸式金屬厚度測量。測量是使用非接觸式渦流傳感器實現的。它實時挖掘具有已知或(更確切地說)常數電導率的材料金屬厚度。這種非接觸式測試技術可以在很寬的厚度范圍內進行精確測量,從幾納米厚度開始,一直到對厚金屬板材和板材進行表征。該技術還能夠表征被不利材料覆蓋的金屬層。SURAGUS 為非常薄的層以及非常厚的金屬和普通合金提供特定于材料的設置。該測量方法非常堅固耐用,具有高重復性和高精度。此外,它不需要任何光學透明度,也不需要物理接觸。因此,它被用于廣泛的應用,用于快速測試或系統質量保證。
軟件和設備控制
非常人性化的軟件
直觀的觸摸顯示導航
實時測量薄板電阻和層厚度
軟件輔助手動制圖選項
各種數據保存和導出選項
軟件 EddyCus? TF Lab 用于薄層電阻測量的控制
使用EddyCus? TF Lab 測量金屬厚度 2020SR-MT
EddyCus? TF Lab數據表 2020MT
測量技術 非接觸式渦流傳感器
基質 箔、玻璃、晶圓等
基板面積 8 英寸 / 204 毫米 x 204 毫米(三面打開)
最大樣品厚度/傳感器間隙 3 / 5 / 10 / 25 mm (由最厚的樣品定義)
金屬厚度范圍
精度取決于所選的設置和金屬的類型/
電導率(例如銅、鋁、銀) 低 1 – 10 nm;2 – 5 精度
標準 10 – 1,000 nm;1 – 3 精度
高 1 – 100 μm;0.5 – 3 精度
金屬厚度校準 直接厚度校準/薄片電阻轉換
設備尺寸(無/高/深) 11.4“ x 5.5” x 17.5“ / 290 毫米 x 140 毫米 x 445 毫米
重量 10 公斤
更多可用功能/其他工具配置 薄片電阻測量/電導率/電阻率/電各向異性/滲透率
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