北京瑞億斯RTP-500型快速熱處理設備快速熱處理爐快速退火爐怎么使用說明購買

北京瑞億斯RTP-500型快速熱處理設備快速熱處理爐快速退火爐怎么使用說明購買

RTP-500型快速熱處理設備生產廠家?快速熱處理爐哪里購買?快速退火爐

歡迎您的來電咨詢 北京瑞億斯科技有限公司

1．用途

快速熱處理技術（RTP）近年來得到越來越的應用，可用于硅及化合物半導體材料離子注入后的退火，硅化物形成，歐姆接觸制備以及快速氧化，快速氮化等方面。該設備具有很好的長時間工作穩定性以及快速升降溫，慢速升降溫的功能，因此也可用于鐵電膜的制備以及各種半導體材料CVD工藝的熱處理。

RTP-500?快速熱處理設備技術指標
1.?溫度范圍:?150?-?1300?C
2.?升溫速率:?0.001-220C?/?s?可予設定
3.?樣品架尺寸:?4英寸?
4.?密封石英盒內尺寸:?215?X?140X?14?mm
5.?PC?機控制.?CPU?主頻?2.1G?內存128?M?,?硬盤40?G?,?軟驅1.44M?,?17?英寸顯示器,?WIN?2000?操作系統.?配有AD/DA卡,?及RTP-500控制軟件.
6.?可編程溫度曲線存儲500?條以上,?每條曲線包括50段以上,?溫度設定范圍?100-1300?C?,?時間設定范圍1-30000?秒
7.?實時溫度曲線顯示及存儲功能?.?文件格式輸出
8.?雙閉環溫度控制,?穩態溫度穩定性 /-?2?C?,1000C連續工作>1小時
9.光源:?1.5KW?X?13?鹵鎢燈?
10.電源:?380?V?35A?三相?五線(三火線,?零線,?地線)
11.水源:?自來水或循環水,?水壓?1-3?kg?/?平方厘米,?流量6-8升/分
12.?外形尺寸:?電源箱?440?X?200?X?520?mm?,?爐體箱?440X200X520?mm

2．主要技術參數數據

2.1 溫度范圍150℃-1300℃，建議使用溫度范圍150℃-1250℃

2.2 升溫速率0.001-220℃/秒，可預設定2-20

2.3 密封石英盒尺寸：210×140×14mm

2.4?PC機控制。CPU主頻1.1G，內存128M，硬盤20G,軟驅1.44M，40倍速光驅，顯示器15寸彩顯

2.5?可編程溫度曲線存儲500條以上，每條曲線可包括50段以上，溫度設定范圍100℃-1300℃時間設定范圍1-30000秒

2.6?實時溫度曲線，顯示及存儲功能，存儲實驗曲線500條以上。

2.7?手動控制：時間設定范圍1-9999秒，溫度設定范圍100-1300℃

2.8?雙閉環溫度控制，穩態溫度穩定性±2℃

2.9?光源：1.25KW×13鹵鎢燈

2.10?電源：380V　32A　3相

2.11?外形尺寸：電源箱440×200×520mm

爐體箱440×200×520mm

PC機：標準尺寸

3．工作原理及結構

3.1原理簡述

???在聚光腔內的鹵鎢燈產生的光輻照，通過石英盒照射到樣品上。由于樣口是聚光腔內的光吸收體，腔內的光線大部分被樣品所吸收，使樣品溫度快速升高。測溫熱電偶測出溫度信號，經線性化和放大 ，通過A/D轉換送入PC機。PC機根據預定的溫度曲線，以及當前溫度值，決定控制電壓的大小，經D/A轉換器送入接口電路。通過控制電路和固態控制器，控制燈電流大小，實現閉環控制。

3.2快速退火爐結構

上下前后四塊反光板均為水冷，以保持良好的溫度穩定性和較快的降溫速度。石英盒為密封結構，盒后部有一個氣嘴，可通往保護氣體。盒前部與墊板之間用704硅膠封結。以良好的密封性能。墊板側面有一個氣嘴，與排氣管相連。墊板用螺釘固定在前反光板上。石英盒后端有兩個帶彈簧的頂釘壓緊。石英盒內部的后部放有一石英擋條，使保護氣體氣流均勻。前蓋上裝有石英樣品架和測溫熱電偶。熱電偶經過氧化處理，其表面吸收系數與硅片相近。前蓋裝有“O”型密封圈，其密封。前蓋裝在導柱上可以前后滑動。裝片時拉出來，退火時推進去。石英盒上面裝有6支鹵鎢燈。下面裝有7支鹵鎢燈。每支燈上串有1歐姆電阻。其作用是減小啟動時的沖擊電流及電流取樣。退火爐兩側裝有風扇，給鹵鎢燈及石英盒強制風冷。退火爐面板左側裝有N2流量計，可調節和監視保護氣體的流量。面板右側有兩排發光二極管。用來監視每支鹵鎢燈的電流。

?

歡迎您的來電咨詢與洽談?

聯系人：張經理?

電話：010-57732593 、010-58496934?

手機：13366684317、15321959907

24小時服務電話：13311279617

公司QQ：1816026485、2528637006?

微信號：13311279617、15321959907

北京瑞億斯科技有限公司