北京瑞億斯RTP-300快速熱處理設備 快速退火爐 怎么操作說明使用哪里購買

北京瑞億斯RTP-300快速熱處理設備 快速退火爐 怎么操作說明使用哪里購買

北京瑞億斯RTP-300快速熱處理設備 快速退火爐 怎么操作說明使用哪里購買

北京瑞億斯RTP-300快速熱處理設備 快速退火爐 怎么操作說明使用哪里購買

RTP-300快速熱處理設備?RTP300快速退火爐?快速熱處理爐

歡迎您的來電咨詢 北京瑞億斯科技有限公司

1. 用途

快速熱處理技術（RTP）是近年來發展很快的半導體工藝新

技術。該設備具有升溫速度快、密封好、溫度范圍寬、使用方

便等特點。可用于硅及化合物半導體材料離子注入后的退火，

硅化物的形成，歐姆接觸制備以及快速氧化，快速氮化等方面。

2 2. .? 主 要 技 術 參 數 數 據

2.1 ?溫度 范圍 ： 150℃ ～ 1300℃ 。 建議 使用 溫度 范圍

150℃～1250℃。

2.2 升溫速率：100～200℃/s

2.3 密封石英盒內面尺寸：210×140×14

2.4 微機控制器：時間設定范圍：0.1～999 秒，精度 0.1

秒，程序段 8 個,獨立可調。

2.5 數字式溫度計：顯示位數：3 位半，分辨率 1℃，精度

0.5 FS±1℃，測量范圍：0～1300℃。

2.6 溫度穩定性：±3℃

2.7 光源：1.25KW×13 鹵鎢燈

2.8 電源：輸入 3N、380V、30A

3 3. . 工 作 原 理 及 結 構

3.1 原理簡述：

在聚光腔內的鹵鎢燈產生的光輻照，通過石英盒照射到樣

品上。由于樣品是聚光腔內的光吸收體，腔內的光線大部

分被樣品所吸收，使樣品溫度快速升高。測溫熱電偶測出溫度

信號，經線性化和放大后 ，送入比較電路與微機控制器輸出的

信號比較。比較電路輸出的信號控制可控硅的導通角，從而改

變燈電流的大小，實現溫度的閉環控制。

3.2 快速退火爐結構

上下前后四塊反光板均為水冷，以保持良好的溫度

穩定性和較快的降溫速度。石英盒為密封結構，盒后部有

一個氣嘴，可通往保護氣體。盒前部與墊板之間用 704 硅膠封

結。以良好的密封性能。墊板側面有一個氣嘴，與排氣管

相連。墊板用螺釘固定在前反光板上。石英盒后端有兩個帶彈

簧的頂釘壓緊。石英盒內部的后部放有一石英擋條，使保護氣

體氣流均勻。前蓋上裝有石英樣品架和測溫熱電偶。熱電偶經

過氧化處理，其表面吸收系數與硅片相近。前蓋裝有“O”型密

封圈，其密封。前蓋裝在導柱上可以前后滑動。裝片時拉

出來，退火時推進去。石英盒上面裝有 6 支鹵鎢燈。下面裝有 7

支鹵鎢燈。每支燈上串有 1 歐姆電阻。其作用是減小啟動時的

沖擊電流及電流取樣。退火爐兩側裝有風扇，給鹵鎢燈及石英

盒強制風冷。退火爐面板左側裝有 N 2 流量計，可調節和監視保

護氣體的流量。面板右側有兩排發光二極管。用來監視每支鹵

鎢燈的電流。

3.3 電源

該設備電源由雙向可控硅調壓電路，線性化電路，溫度顯

示電路，微機可編程控制器，比較電路等幾部分組成。

由熱電偶輸出的信號，通過面板上的插座輸入線性電路，

轉換成與溫度成線性關系的電壓信號，一部分送入溫度顯示電

路，直接顯示出溫度值，另一部分經放大送入比較電路，與微

機控制器輸出的信號比較。比較電路輸出的信號控制可控硅的

導通角，實現閉環溫度控制。可控硅調壓電路共分為 6 路，第

一路控制三支鹵鎢燈，其余的控制兩支鹵鎢燈，每一組的燈電

流都是獨立可調的�？捎脕碚{整樣品縱向的溫度均勻性。

三相電源的空氣開關安裝后面板上，保險管在電源箱內的

安裝板上。從面板上 A B C 三相指示燈上可看出保險是否斷開，

是否缺相。

退火爐后面板上裝有水壓開關，如果冷卻水沒接通，水壓

開關斷開，電源面板上綠色冷卻水指示燈不亮，可控硅不會導

通。

微機控制器有八位單片機及接口電路組成�？刂破饔邪藗�

程序段，每段的時間由鍵盤設定。溫度由每段對應的多圈電位

器設定。鍵盤上共 16 個鍵，其中 10 個（0～9）為數字建，5

個為功能建，一個空白建，下面分別介紹 5 個功能鍵的作用。

1)復位鍵：它的作用是轉換工作狀態，即輸入（IN）狀態

轉換為運行狀態（即 b 狀態），或從運行狀態轉為輸入狀態。

它的另一個作用是手動中斷正在進行的程序。

2) IN 鍵：它的功能是設定和檢查段號和每段時間。每按動

一次,在顯示板上則按照：程序段號→本段設定時間→下一段號

→下一段設定時間的順序走。（從低段到高段走）

3) Last 鍵：功能與 IN 相似。只是每按一次按高段到低段的

順序走。

4)“清零”鍵：在“IN”狀態按 2 秒鐘后，以前設定所有數

據全部清零。

5)“啟動”鍵：顯示板上顯示 b 或 End 時，按動此鍵控制器

即可開始運行。

電源面板左側的鑰匙開關是控制系統及風扇的電源開關。

紅色的按鈕風扇開關是退火爐兩側的風扇開關，一般情況應按

下。工作方式選擇開關有兩檔：準備（STAND BY），運行（RUN）.

當“準備”開關按下時，微機控制電路與可控硅調壓電路斷開，

可控硅不會導通。當微機控制器輸入數據或電源停止工作時，

開關應放在此狀態。電源運行時，工作方式選擇開關應放在“運

行”檔，再按一下微機控制器上的“啟動”按鈕即可開始工作。

面板上的輸入插座是熱電偶信號的輸入端。輸出插座是熱

電偶信號經過線性化和放大后的輸出�？晒┙o記錄儀或其它儀

器。

面板上的上限（UPPER LIMIT）調節多圈電位器有二個作用：

一是限制溫度上限，是溫度不超過預定值。二是提高溫度

的穩定性和重復性。

主要技術數據

2.1?溫度范圍：150℃～1300℃。建議使用溫度范圍150℃～1250℃。

2.2?升溫速率：100～200℃/s

2.3?密封石英盒內面尺寸：210×140×14

2.4?微機控制器：時間設定范圍：0.1～999秒，精度0.1秒，程序段8個,獨立可調。

2.5?數字式溫度計：顯示位數：3位半，分辨率1℃，精度0.5 FS±1℃，測量范圍：0～1300℃。

2.6?溫度穩定性：±3℃

2.7?光源：1.25KW×13鹵鎢燈

2.8?電源：輸入3N、380V、30A

隨時歡迎您的來電咨詢

聯系人：張經理

電話：010-57732593、010-58496934、010-57732663

手機：13366684317、15321959907

24小時服務電話：13311279617、13366684317

公司QQ：1816026485、2528637006?

微信號：13311279617、15321959907

北京瑞億斯科技有限公司

Beijing Ruiyisi Technology Co LTD