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              PEALD電感耦合等離子體增強原子層沉積系統廠家定制
              PEALD電感耦合等離子體增強原子層沉積系統廠家定制 價格:1000.00  元(人民幣) 產地:河南鄭州
              最少起訂量:1 發貨地:河南鄭州
              上架時間:2024-12-26 03:21:23 瀏覽量:5
              鄭州成越科學儀器有限公司  
              經營模式:生產加工 公司類型:個體工商戶
              所屬行業:儀器儀表加工設備 主要客戶:大陸
                在線咨詢 跟我QQ洽談

              聯系方式

              聯系人:汪紀彬 (先生) 手機:13837189935
              電話: 傳真:
              郵箱:wjb@cykeyi.com 地址:鄭州高新區翠竹街6號9幢1單元8層820號

              詳細介紹

              產品參數
              加工定制
              規格灰白
              型號CY-PEALD-150R
              控制硬件PLC 控制系統
              控制軟件autoALDTM專用軟件全自動控制
              保修1 年免費保修
              等 離子體系統微波等離子體源系統
              臭氧發生器系統高濃度臭氧發生器
              真空規測量范圍 2x10-4 to 103torr
              前驅體管路采用 316L 不銹鋼 EP 級管路
              ALD 閥高速高溫 ALD 閥
              反應腔6 英寸樣品的標準腔體
              腔體溫度RT-200℃可控
              沉積模式高速沉積的連續模式
              真空機械泵TRP-6
              品牌CYKY









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