氦質譜檢漏儀

氦質譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優點而被廣泛應用于壓力容器、航空航天、原子能、發電廠、制冷工業等領域。檢漏儀在使用過程中，往往會因為產生的一些故障或是現象，而影響檢漏工作的正常進度，若對其置之不理還會危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現象是使用者能夠及時解決或避免的，掌握和了解檢漏儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養。本文以氦質譜檢漏儀為例，介紹了該型檢漏儀的工作原理及結構組成， 分析了檢漏儀5 種常見故障的處理方法，總結了檢漏儀在使用過程中應重點注意的事項。

用氦氣作為氦質譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統中的含量低；檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高；它不會對人員、環境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價格低。

質譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

1、氦在空氣中及真空系統殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應出來，靈敏度高。

2、氦的質量小（相對分子質量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發現，靈敏度高。

3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學反應，不會污染被檢件，使用安全。

4、在氦兩側的是氫（質荷比為2）和雙電荷原子碳（質荷比為6），質荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉半徑相差也大，容易分開，定標找氦峰時，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。同時，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。

5、氦在被檢件及真空系統中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續進行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能（如質量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險，另一方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

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氦質譜檢漏儀熱管檢漏

熱管需要檢漏原因：

熱管內部填充特殊液體用來增強熱傳導性能，如果熱管本身存在漏點，首先會影響熱管的導熱性能；其次由于熱管都是安裝在設備內部，如果發生泄漏，里面封裝的液體就會流出，嚴重污染和影響設備的正常運轉，所以熱管生產企業，都會采用氦質譜檢漏儀對熱管進行檢漏。

熱管檢漏方法：

該企業熱管出廠前標準漏率合格線是 E-8 mbarl/s，使用氦質譜檢漏儀檢漏時，設定 E-8 為報警值，當漏率低于該值時產品是合格的，當漏率高于此值，檢漏儀發出聲光警報，說明產品有漏。

熱管采用檢漏儀的真空檢漏模式，因為產品沒有抽真空的標準接口，根據客戶實際情況定制真空夾具，一頭連接檢漏儀，一頭連接產品，具體做法如下：

1.啟動 Pfeiffer 氦質譜檢漏儀 ASM 340，裝上夾具;

2.將熱管插入夾具，并用真空封泥封堵;

3.按下檢漏儀的 start，開始抽真空;

4.在產品周圍噴氦氣，以 E-8 mbarl/s 為合格線。

氦質譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術中靈敏度，用得普遍的檢漏儀器。

氦質譜檢漏儀是磁偏轉型的質譜分析計。單級磁偏轉型儀器靈敏度為lO-9～10-12Pam3／s，廣泛地用于各種真空系統及零部件的檢漏。

雙級串聯磁偏轉型儀器與單級磁偏轉型儀器相比較，本底噪聲顯著減�。潇`敏度可達10-14～10-15Pam3／s，適用于超高真空系統、零部件及元器件的檢漏。

逆流氦質譜檢漏儀改變了常規型儀器的結構布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質譜室污染小等特點。