技術描述
A.主要特征
00級花崗巖基座、立柱, 高精度線性導軌. 計算機控制的照明光源系統: 背光（投射光）及八段環形照明光，直
流伺服電機，無牙螺桿傳動.
a)花崗巖基座、立柱 — 性變小，穩定性好, 垂直度高。
b)導軌 —特制精密交叉導軌，從導軌的寬度和厚度均比普通導軌尺寸大、精度高。
c)傳動 —無牙螺桿傳動
d)電機 — SM全閉環交流伺服
B.技術指標
?空間運行速度：150 mm/s
?光柵尺分辨率：0.0005mm
?重復精度：0.003mm
?變倍精度：0.005mm
?測量范圍: 300 X200 X 200mm (X/Y/Z)
?工作限高：150mm
?外形尺寸：700 X 600 X 1000（長X寬X高）
?130萬高分辨率工業級CCD相機
?對焦系統：自動對焦
?可程式自動光源系統
?可程式自動對焦系統
?可程式自動變倍系統
?機身結構：精密鑄鐵懸臂式
?驅動系統：精密交流伺服電機驅動、無牙螺桿傳動
?工作臺承重: 20公斤
?機器凈重:190公斤
?隨機附帶: 檢測報告;合格證 ; 軟件使用手冊
C.環境要求
?工作溫度： 18℃ ~ 22℃(可保證精度)
?相對濕度: 40 — 70RL
?工作電壓: 230V 10
?頻率:50/60 Hz 5
功率：1000VA