JJF1916-2021掃描電子顯微鏡校準規范
貨號：AUBAT-1916S
1.等間距柵格標準樣板
2. 一維柵格
測長示值誤差
3.二維柵格
正交畸變，線性失真度

掃描電子顯微鏡 (簡稱“電鏡”) 利用聚焦的電子束在樣品表面逐點掃描，電子與樣品作用產生二次電子信號以及背散射電子信號，由此獲得表面形貌圖像，可以達到納米級的分辨力。
校準條件
1 環境條件 環境溫度:(20士5)C;相對濕度:不超過 65。使用的標準樣板應與被測儀器放在一起等溫不少于 0.5 h。實驗室電磁輻射應不影響測量結果。

2校準用標準器 掃描電鏡校準項目所采用的標準樣板為等間距柵格標準樣板，包含 5 個以上周期根據所校準的放大倍數，選取相應的標準樣板，如表所示。

計量特性標準樣板放大倍數最大允許誤差
測長示值誤差50 nm~200 nm一維謝格100 k~1 000 k士3
200 nm~400 nm一維柵格20 k~100 k士3
400 nm~300nm一維柵格10 k~20 k士1
1um~2μm一維柵格3 k~10 k士1
正交畸變，線性失真度10 μm 二維柵格500~2 k士1
10 μm 二維柵格500~2 k士1

校準方法：
1 測長示值誤差
調整樣品臺，旋轉標準樣板使柵格的線條沿著豎直方向，柵格間距的測量方向沿著圖像的 X 軸。記錄掃描圖像以及對應的放大倍數對圖像上 X 方向的柵格間距進行測量。連續測量 3 次，取平均值。對于放大倍數在 20 萬倍以上的測長示值誤差校準，L 可以只包含一個間距。使線條沿著圖像Y 軸、按照 X 方向柵格間距的測量方法來測量Y 方向的柵格間距。測量值與標準樣板實際值的差為測長示值誤差。

2 正交畸變
二維柵格樣板進行測量，將二維柵格標準樣板的圖像中水平線條調整為沿著 X 方向。選取 X、Y 方向 5 個間隔周期以上測量長度，用掃描電子顯微鏡的圖像測量軟件測量柵格圖像上橫向與縱向柵格方向的夾角，與標準樣板實際校準值的差即為校準結果。

3 線性失真度
在放大倍數 1 000 倍，測量二維柵格樣板，選取一個柵格，分別平移到圖像的中心和四角，各獲取一幅圖像。測量5個位置上柵格的 X、Y 方向的寬度按公式計算。