SOGEVAC 和 TRIVAC系列前級泵與RUVAC WA(U)、 WS(U)、WH(U) 和 RA系列羅茨泵組合 成 2 到 3 級RUTA羅茨機組。單套機組實現 250 16000m3/h 抽速，可以通過添加并聯機組，獲得更高的抽速。真空機組是前級泵加羅茨泵的組合機組，在一些真空度要求較高的工藝，還會有增加擴散泵和分子泵。除此外，在一些真空干燥，脫泡工藝，都會使用真空機組來完成工藝要求。
?當使用一種泵不能滿足抽氣及真空要求時，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足工藝要求。有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓力低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。經組合使用的真空泵，我們稱之為真空泵機組，它能使真空系統得到較好的真空度及排氣量。
我們應正確地選擇組合的真空泵，由于不同的真空泵對抽除的氣體要求有不同的要求，例如：在一般情況下羅茨－旋片機組不適用于含有較多可凝性氣體的系統。當您選擇油封泵時，您應該首先了解您的真空系統是否對油污染有要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、低溫泵等。