JJF(滬蘇浙皖)4001-202微納米線間隔標準樣板校準規范
貨號：AUBAT-4001
二維柵格
JJF(蘇)246-2013微納米線間隔標準樣板校準規范(參考長三角技術規范JJF(滬)4001-2021)

校準項目和校準方法

平均線間隔
使用計量型掃描探針顯微鏡掃描被測樣板，掃描前應確定與柵格結構正交的掃描方向，沿正交掃描方向掃描樣板特征區域。選3 個測量區域，在每個測量區域內進行掃描，掃描曲線數應不少于 3 條，每條掃描曲線應包含6 個以上線間隔；通過重心法，對每條曲線分別進行線間隔計算：選取每個刻線高度在中線以上的所有測量點坐標值，按公式得到該節測量方向上的重心坐標值。

二維柵格線的正交角度
進行二維線間隔正交性測量時，在有效測量區域采用面掃描或十字垂線的掃描方式進行平均線間隔的計算。分別記錄X 測量方向和Y測量方向各測量點的（X、Y）坐標值，并通過公式計算X、Y測量方向的斜率。如此連續測量 10 次，按式計算 10 次的平均值作為二維線間隔正交性的測量結果。

線間隔均勻性
以測量區域中心線為中心測量線，兩側分別取 5 條均勻分布的測量線，測量線間隔（d）根據測量區域的大小確定，以均勻覆蓋測量區域為原則。分別對每條測量線上的線間隔進行一次測量，以 11 條測量線間隔的實驗標準差作為線間隔均勻性的測量結果。