JJF1306-2011 X射線熒光鍍層測厚儀校準規范
貨號AUBAT-1306X
厚度標準塊（片）
1級或2級；校準厚度測量重復性；示值誤差；示值穩定性；

X 射線熒光鍍層測厚儀是一種基于能量色散方法的非破壞性定量分析儀器，具有分析測量多種金屬材料成份和多種鍍層厚度的功能，廣泛應用于電子、半導體、首飾、材料分析等行業。X 射線熒光鍍層測厚儀測量鍍層厚度的原理:X 射線管產生的初級 X射線照射在被分析的樣品上，樣品受激發而輻射出二次 X 射線被探測器接收，此二次輻射具有該樣品材料的波長和能量特征，鍍層厚度和二次輻射強度有一定的關系，經多道分析器及計算機進行能譜分析處理后，計算被測樣品的鍍層厚度。

校準方法：
1厚度測量重復性
在儀器的有效測量范圍內，選取一個厚度標準塊 (片)，其厚度值大約分布在儀器二分之一量程處，厚度標準塊 (片) 的材料的選用與儀器實際測量應用相一致，調用相應測量程序，重復測量該厚度標準塊 (片) 10 次，記錄儀器測量顯示值 h， 計算實驗標準偏差。

2示值穩定性
選用 1 塊厚度標準塊(片)，其厚度值大約分布在儀器二分之一量程處。在 1 h 內每隔 15 min 測量 1組并記錄儀器讀數，每組測量 10 次，取其平均值作為該組測量結果，共測量 5 組，5 組測量結果中最大最小差值除以厚度標準塊 (片) 的實際厚度值的百分數即為儀器的相對示值穩定性。
單次測量時間應不小于 30 s，準直器大小的選擇應與實際測量應用時相一致。

3厚度測量示值誤差
首先進行儀器基準光譜的標定，再按儀器實際應用范圍，選取相應材料的 1~5 個標準厚度塊，分別對每個厚度標準塊重復測量 3 次并記錄儀器示值，計算算術平均值h作為該點位的測量結果，各點位的算術平均值h 與厚度標準塊的實際值 H,的差值，即為該點位的示值誤差。