氦質譜檢漏儀的校準方法

(1) 漏率校準① 校準系統的組成

校準系統由標準漏孔、截止閥及需校準的氦質譜檢漏儀組成。

②示值誤差

通電預熱，待氦質譜檢漏儀啟動完成后，采用標準漏孔對氦質譜檢漏儀進行校準，將一經過校準的標準漏孔接入氦質譜檢漏儀系統，運行氦質譜檢漏儀，待漏率示值穩定后，可以讀出標準漏孔漏率的氦質譜檢漏儀示值，同一標準漏孔測量三次，計算氦質譜檢漏儀示值平均值，從而得到標準漏孔漏率與氦質譜檢漏儀示值平均值的示值誤差。結束后，將其他量級的標準漏孔依次按此方法接入氦質譜檢漏儀系統進行測試，得到氦質譜檢漏儀在每一量級下漏率的示值誤差。

如果測試結果有較大編差，可以考慮氦質譜檢漏儀的自校功能，待完成后，再用標準漏孔進行測試。

③ 重復性

測量重復性是用實驗標準偏差表征的，本校準方法采用極差法來表征重復性。在示值誤差測量中，每一標準漏孔用氦質譜檢漏儀重復測量三次，可用公式(2)計算氦質譜檢漏儀在該漏率下的重復性。

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氦氣檢漏儀的工作原理是什么？

主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計組成，離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子，分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質荷比不同；在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，再設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙；打在收集器上，收集放大器收集氦離子流并出入到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率。

氦氣檢漏的主要參數及優勢

1、關鍵零部件全球集優采購，保證了系統的穩定性和可靠性；

2、真空箱內氦氣本底抑零，保證了檢漏的準確性

3、特有的清氦系統，快速有效地清除超標的氦本底，保證檢測的穩定性和準確性；

4、實時監測氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測的精度；

5、可對使用過程中產生的濃度不合格氦氣進行提純，極大降低氦氣損耗（功能可選）；

6、可同時檢測多工件，并能按照需求自動判斷出具體的有漏工件；

7、專業定制的的密封接頭，穩定可靠，減少誤判。

8、觸摸屏實時顯示監測數據和運行參數，監控一目了然。

9、電氣控制系統的連鎖保護及聲光報警功能，確保了系統的操作安全及可靠運行。

今天和大家分享的是氦氣檢漏的主要參數及優勢，希望對您有所幫助！