OSAKA分子泵?大阪分子泵

磁懸浮軸承型復合分子泵 TG-M系列

使用磁懸浮軸承實現無油的排氣，而且維護周期長。提供排氣速度300L/s～3400L/s的產品

該系列產品型號：

TG397M、TG427M、TG907M、TG1307M、TG390M、TG420M

TG900M、TG1300M、TG2400M、TG-MU、TG-ML、TG-MI

TG2400M渦輪分子泵

?全方位安裝
輕巧設計
節能
分子泵停止與啟動時間短
附帶維護警報機能
低振動
無需調整
自動校準
可控制轉子旋轉速度
大流量排氣
多種通信模式
符合安全規格　NRTL/SEMI-S2/CE

產品應用：

?半導體制造
?電子槍排氣，離子源排氣
?FPD制造
?表面處理，表面改質
?各種電子部件的制造
?分析，試驗裝置
?管球制造，光學部件制造
?加速器，放射線設施，核聚變研究
?熱處理
?研究開發

技術參數：