產品參數 |
品牌 | Aerotech |
產地 | 美國 |
是否進口 | 是 |
特點 | 在長達 160 mm 的行程長度內提供納米級定位性能 |
優點 | 完美地結合了精度、可重復性、速度和可靠性 |
精度 - 基本性能 | ±2.5 微米、±3 微米、±4 微米 |
平整度 | ±1.5 微米、±2 微米 |
負載能力 - 垂直 | 14 千克 |
驅動系統 | 無刷直線伺服電機 |
最大總線電壓-CN1 | 80 VDC |
可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 |
用途 | 半導體加工與檢測等 |
型號 | ANT130LZS | |
ANT130LZS位移臺以超低的外形代表了垂直運動性能的巔峰。具有極低摩擦特性的雙側安裝氣動平衡塊,它們完美地結合了精確性、可重復性、速度和可靠性。ANT130LZS位移臺具有令人印象深刻的動態性能和充足的承載能力,當您需要在緊湊的外形中實現卓越的垂直運動時,它是理想的選擇。
設計特點:
?增強型第二代設計
?實現1 nm的最小增量運動-新的
?在長達160毫米的行程范圍內提供納米級定位性能
?提供超薄的側面安裝的雙平衡塊,能夠抵消高達14千克的有效載荷,在垂直方向上實現超精確的性能
?采用高精度交叉滾子軸承,具有出色的動態性能和充足的負載能力
?利用無鐵芯直接驅動線性電機最大限度地提高生產能力和可靠性
?輕松集成到多軸運動系統中
關鍵應用:
ANT130LZS載物臺是高精度和高動態垂直定位應用的理想選擇,具有最小的占地面積要求,包括:
?光子組裝和檢測
?光纖對齊和優化
?光學制造、測試和檢驗
?傳感器測試和認證
?半導體加工與檢驗
?研究和實驗室應用
行業領先的運動性能:
出色的精度、位置可重復性和在位穩定性要求極高的系統分辨率,F在,ANT130LZS提供了改進的高性能編碼器選項,可以輕松實現1 nm的最小增量步長。我們的直接驅動技術沒有滯后或反沖,能夠實現精確和可重復的納米級運動。此外,影響最小的配重設計可抵抗有效負載產生的重力,從而實現行業領先的性能和最佳的熱穩定性。
非接觸式直接驅動:
只有非接觸式直接驅動技術能夠提供大規模生產精密設備所需的穩健、精確和高速定位。ANT130LZS載物臺使用我們先進的直接驅動技術來實現最高水平的定位性能。ANT130LZS配有抗蠕變交叉滾子軸承,可提供超平滑、一致的運動和出色的動態特性,從而提高您的加工能力。優化的驅動器和軸承組合封裝在薄型外形中,在許多應用中提供獨特的性能優勢,例如高精度定位、光纖對準、光學器件制造和檢測、傳感器測試和掃描過程,這些應用需要平穩和精確的運動。
靈活的系統設計:
ANT130LZS系列具有通用安裝和桌面模式,便于系統集成。兩個、三個或更多軸可以很容易地結合起來,以實現靈活的系統設計和多軸配置。ANT130LZS載物臺可輕松與其他產品結合,包括ANT130L、ANT130XY、ANT130R、ANT20G、AGS龍門架等,以提供復雜的多自由度運動和定位解決方案。
機械的

注意事項:
1.通過每個階段的認證。
2.需要選擇具有足夠電壓和電流的適當放大器。
3.原位穩定性報告為3-sigma值。需要1 Vpp編碼器。
4.有效負載規格假設有效負載在軸上居中。
5.報告了在臺面上方25 mm處測量的單軸的規格。多軸系統的性能取決于有效載荷和工作點。對于多軸或非標準應用,請咨詢工廠。
6.另外,性能要求使用Aerotech控制器。
7.為了確保在較長時間內達到規格并保持可重復性,環境溫度必須控制在每24小時0.25°C以內。更多信息請咨詢工廠。
8.氣動平衡的氣源必須清潔、干燥至0°F露點,并過濾至0.25 m或更高。Aerotech建議使用純度為99.9的氮氣。供給壓力由載物臺承載的有效載荷量決定。
與電有關的:




