日本kasuga兼容真空的靜電勢傳感器KS-3101
在真空中，減少靜電的氣體成分非常稀薄，以至于即使在大氣壓下，靜電也會導致嚴重的生產故障。
具有真空能力的靜電勢傳感器使用的材料和材料可以在真空環境中使用，并且可以用來測量真空中產生的靜電。用它來確定真空過程中產生靜電的原因，并連續監測靜電勢。
| 型號 | KS-3101 |
|---|---|
| 檢測方式 | 振動式表面電位傳感器 |
| 推薦真空度 | 10 0 Pa以下 |
| 測量范圍 | 高壓范圍：0至±20.0kV（測量距離100mm） LOW范圍：0至±2000V（測量距離10mm） |
| 測量精度 | ±10％以內 |
| 警告 | 檢測傳感器故障LED顯示 |
| 使用環境 | 溫度0?40℃，濕度65％以下（無凝露） |
| 彌撒 | 約100克（不包括電纜和控制盒） |
| 配置必要性 | 真空電纜：KS-3101-C01（電纜長度1m，可擴展） 控制箱：KS-3101-B05（帶空氣側電纜5M，可擴展） 控制器：KSD-0110或KSD-0120 |
| 選件 | 真空法蘭 |