日本精密陶瓷株式會社氧化鋯（ZrO2）

氧化鋯（ZrO₂）

我司的氧化鋯(ZrO₂）是加入了3mol%Y₂O₃的部分穩定氧化鋯。
材料顆粒直徑小，可進行高精度加工。

• 常溫機械強度
• 常溫斷裂韌性
• 耐磨耗性
• 隔熱性
• 電絕緣性
• 近似金屬的熱膨脹

主要用途

• 模具?冶工具（各種模具、精密定位治具、絕緣治具）
• 粉碎機部件（分級機、氣流式粉碎機、珠磨機）
• 工業用刀具（工業用切刀、分條機、平壓輥）
• 光連接器部件（密封圈、套筒、V型槽夾具）
• 特殊彈簧（盤簧、板簧）
• 消費類產品（小型絕緣螺絲刀、陶瓷刀、切片器）

特點

氧化鋯是一種在常溫下機械強度高、斷裂韌性高的材料。我司的氧化鋯(ZrO₂）是加入了3mol%Y₂O₃的部分穩定氧化鋯（PSZ）。
因PSZ的材料顆粒直徑小，可完成高精度加工，在模具等精密加工零部件領域的應用正在擴大。
此外，也可用于工業刀具、光連接器部品以及粉碎設備的介質。
利用PSZ的高斷裂韌性可制成特殊彈簧，還被廣泛用于家用陶瓷刀、切片器等部件。

氧化鋯

熱膨脹系數為RT～200℃時的測量數據。

氧化鋁（Al₂O₃）

氧化鋁（Al₂O₃）是精密陶瓷中常用的材料。我司供應純度為99.5%和99.9%的產品。

• 電絕緣性
• 耐磨耗性
• 耐熱性
• 耐腐蝕性
• 耐等離子性

主要用途

• 半導體制造設備部品（腔體部件、絕緣法蘭盤、蝕刻設備部件、晶圓夾盤）
• 粉碎機部件（分級機、氣流式粉碎機、珠磨機）
• 一般產業用部件（激光加工機噴嘴、轉軸、軸承）
• 高精度用，精密用，耐熱用冶工具（定位治具、裝配夾具）
• 耐磨耗部件（拉絲機導向輥、鋼絲通道、導軌）
• 電絕緣部件（絕緣子、墊片、襯套）

特點

氧化鋁是白色或乳白色的陶瓷，利用其優異的電絕緣性能，早期開始即應用在電子部品上，使用量較多，是精密陶瓷中成本低的材質。
我司供應純度為99.5%和99.9%的高純度產品。高純度類型氧化鋁的機械強度高、耐腐蝕性優異，可生產大型產品。
此外，由于其具有優異的耐等離子特性，也可用于ＣＶＤ設備或蝕刻設備的部件。

氧化鋁

碳化硅（SiC）

碳化硅（SiC）是我司擅長的材料。擁有專用大型真空爐，可生產1m見方的產品。

• 高溫機械強度
• 耐磨耗性
• 高熱傳導性
• 耐腐蝕性

主要用途

• 滑動部件（機械密封、化工泵軸承、軸）
• 粉碎機部件（分級機、氣流粉碎機、砂磨機）
• 半導體制造設備部件（XY平臺、MOCVD托盤、聚焦環、晶圓夾盤）
• 成型機部件（相機鏡頭成型機部件）
• 耐熱部件（燃燒器噴嘴、高溫試驗機部件、熔融金屬用坩堝）
• 耐磨部件（噴砂機噴嘴、噴丸機拋丸機葉片、埋地管道保護板、釣具導向環）

特點

碳化硅是一種黑色陶瓷，和其他的精密陶瓷相比，在高溫環境（1000℃以上）中機械強度降低幅度小、耐磨耗性高。
因其強共價鍵，在各種精密陶瓷材料中硬度高、耐腐蝕性優異、在液體中的滑動特性良好。
利用這些特點，使用在機械密封、化工泵軸承等方面。此外，也可用于半導體生產設備的晶圓叉等。

碳化硅