派瑞林Parylene涂層采用獨特的真空氣相沉積工藝制備，其制備過程如下：首先，在真空條件下固態派瑞林原料在130℃升華氣化，然后在680℃高溫下，將氣態雙分子裂解成活性單體；最后在真空常溫下，氣態單體在基體上生長聚合，在基材表面“生長”出完全敷形的派瑞林聚合物薄膜涂層，該涂層具有其他涂層難以比擬的性能優勢。它能涂敷到各種形狀的表面，包括尖銳的棱邊，裂縫里和內表面。

派瑞林Parylene涂層不僅電性能和防護性能好，而且生物相溶性也好，它已通過美國FDA論證，滿足美國藥典生物醫用材料VI類標準，被列為是一種可以在體內長期植入使用的生物醫用材料。

有些醫療器械具有需小心保護的內部電子元件（植入式或外部），由于這些電子元件體積微小，沒有足夠的重量進行沉降、噴涂或涂刷，一些微小的裝置還會受到氣隙、厚度不均等因素的不良影響，因此無法采用傳統的防護涂層。Parylene真空鍍膜以其良好的耐腐蝕、耐有機溶劑，抗菌抗氧、 低阻滯性、低摩擦系數及生物相容性，在國際臨床運用的生物醫療器材的表面涂層上，將逐步取代TiNi（鎳鈦）合金涂層。如骨釘、探針、針頭、臨時手術器械、導尿管、制動器及耳蝸植入器，心臟起搏器、腦電極、植入式傳感器、射頻治療儀、血液分析傳感器和高頻手術刀等微型電子醫療器械。