從等溫系統到使水沸騰以產生蒸汽（蒸汽）的系統，通常將相對濕度（rh）水平保持在既定設定值的1%至5%之內，并且能夠保持特定的控制水平，這取決于控制系統的能力應對不斷變化的環境條件。
響應能力受兩件事的影響：
1、能量來源的輸送
2、丟棄的水量（通過脫脂，排水和沖洗周期）去除礦物質
而提供響應能源的關鍵是一個控制系統，能夠快速適應不斷變化且往往獨特的環境條件。但是，如果采用相同的控制器，帶調節閥的系統（如鍋爐-蒸汽熱交換器系統）將因電調和蒸汽等溫系統而具有一點優勢，因為調節蒸汽閥的無限可變性-它真正提供按需加熱水。然而，天然氣和電力系統非常接近實現這種能力，使得比較主要是學術性的。
關鍵性的水質量-水的硬度
水硬度在等溫加濕器維持rh設定點的能力中起著關鍵作用。隨著水硬度的增加，對撇渣，排水和沖洗的需求也增加。撒渣在將它們附著到加濕器罐壁和作為結垢的元素之前去除沉淀的礦物質。當水被撒去時，冷水被引入水箱。在某些情況下，冷水的引入會導致蒸汽輸出延遲，直到冷水被加熱到沸騰。
在大多數系統上自動排空和沖洗循環，完全排空加濕器（約8分鐘），然后用冷水沖洗容器8分鐘。在這種情況下，加濕器不僅離線約16分鐘，而且需要將罐裝滿并加熱至沸騰，然后才能產生蒸汽。同時，濕度水平可以下降5%或更多，直到加濕器再次產生蒸汽。
在某些應用中，例如辦公大樓或其他加濕以提高舒適度的環境中，rh的波動并不是一個主要問題。然而，在過程關鍵環境中，5%的相對濕度波動會影響過程。這些環境中的超聲波加濕器通常使用軟化水，具體取決于所需的控制水平。
相關總結
水中的礦物質越少，控制能力越好。低礦物質含量意味著低維護，從維護的角度來看，水中的礦物質含量越低，所需的維護就越少。礦物質積聚在維護不當的等溫系統中可能會導致加濕器發生故障：加熱器線圈可能過早出現故障，通過積垢減少換熱器的輸出，測量水位的電導率探頭系統停止工作，排水閥堵塞。降低超聲波加濕器維護要求的簡單和具成本效益的方法是軟化填充水，提供優質的水質量。
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