廣州潽拓光電維修Edwards EXT75DX英國愛德華分子泵，Edwards EXT75DX/EXT75iDX愛德華渦輪分子泵進氣法蘭口DN63ISO-K/DN63CF/DN40NW/DN100ISO-K，出氣法蘭口DN16，抽速可達到65 L/s，轉速為90000 rpm，對應的控制器為： Edwards  TIC100。