廣州潽拓光電維修安捷倫分子泵，Varian Turbo-V801瓦里安渦輪分子泵進氣法蘭口ISO160-F,出氣法蘭口KF25,分別抽速可達到680 L/s ，轉速為38000rpm，對應的控制器為：Varian Turbo-V801,瓦里安Turbo-V801分子泵驅動器輸入電壓100-240VAC,頻率50-60HZ,功率600VA。