半導體射頻電源是可以產生固定頻率的正弦波、具有一定頻率的高頻電源，主要由射頻信號源、射頻功率放大器及阻抗匹配器組成，射頻電源作為等離子體配套電源，頻率在射頻范圍內（約3KHz～300GHz），廣泛應用于半導體蝕刻、CVD和PCV等領域。

半導體射頻電源產業鏈

資料來源：共研產業咨詢（共研網）

半導體射頻電源是半導體工藝設備的核心零部件之一，近年來，半導體射頻電源市場規模隨著半導體行業的發展進一步增長。2022年全球半導體射頻電源市場規模從2018年的4.84億美元增長至7.26億美元，預計2023年將達到7.71億美元。

2018-2023年全球半導體射頻電源市場規模情況

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隨著國內半導體行業的持續穩步發展,中國半導體射頻電源市場規模仍將保持著強勁的增長態勢。2022年中國半導體射頻電源市場規模為0.97億美元，約占全球的13.31%，預計2023年將達到1.10億美元，約占全球的14.23%。

2022-2026年中國半導體射頻電源市場規模及占全球比重

（注：中國市場包括中國臺灣地區）

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2022年，全球半導體射頻電源重要生產區域是北美、日本，合計占據全球近60%的市場份額，其中北美占全球的36.04%，日本占全球的23.17%。

2022年全球半導體射頻電源重要生產區域分布

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全球半導體射頻電源市場集中度較高，第一梯隊企業合計占52.95%的市場份額，第二梯隊企業合計占33.99%的市場份額。

全球半導體射頻電源市場集中度

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