新的緊湊型EPX500高真空干泵的特性是：工作性能，運行成本更低。EPX500使用了保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于7*10-5 Torr的極限壓力EPX NE系列的泵具有一個終用戶控制器（EUC）。通過終用戶控制器可以實現獨立使用的本地控制，并能夠連接到結構的網絡，以進行遠程控制和監視。