特點:Turbo-V 1K-G 不僅是一臺泵。該裝置是專門為薄膜沉積設備精心設計的專用分子泵系統。其葉片級數和泵的整體結構均經過優化,可以在高流速的氬氣氛圍下和溫度極高的環境中工作。另外,可通過遠程機架控制器或泵機一體式控制器來驅動泵。所有這些特點使 Agilent Turbo-V 2K-G 成為鍍膜工業出色的解決方案。
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