Pfeiffer普發 HiPace 2300 特性:
對各種氣體的高抽吸能力: 不論是小分子量氣體 (H2, He) 和大分子量氣體 (Ar, CF4) 都有很高的抽速.
高工藝適用性, 防止進入顆粒, 高氣流量
分子泵獲得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 認證
防護等級 IP 54, 符合工業環境應用要求
運行數據監控形成的最zui運行安全性
分子泵安裝角度可選 0-90° 或 90-180°
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