Varian  Turbo-V902瓦里安渦輪分子泵維修,Varian Turbo-V902瓦里安渦輪分子泵進氣法蘭口ISO100，出氣法蘭口KF25，抽速可達到680 L/s，轉速為38000rpm，對應的控制器為：Varian  Turbo-V902。