其清洗工藝是采用 KRI 考夫曼離子源 KDC 160轟擊處理基材表面, 以清洗基材, 工作示意圖如下:
伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 160 技術參數：
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離子源型號 |
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Discharge |
DC 熱離子 |
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離子束流 |
>650 mA |
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離子動能 |
100-1200 V |
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柵極直徑 |
16 cm Φ |
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離子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
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流量 |
2-30 sccm |
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通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型壓力 |
< 0.5m Torr |
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長度 |
25.2 cm |
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直徑 |
23.2 cm |
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中和器 |
燈絲 |
* 可選: 可調角度的支架
其優勢：
1. KRI 考夫曼離子源 KDC 160 離子束可選聚焦/ 平行/ 散射. 適用于已知的所有離子源應用.
2. 離子束流: >650 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: 燈絲, 流量 (Typical flow): 2-30 sccm.
3. 加熱燈絲產生電子, 增強設計輸出高質量, 穩定的電子流.
4. 離子源采用模塊化設計, 方便清潔/ 保養/ 維修/ 安裝.
5. 無需水冷, 降低安裝要求并排除腔體漏水的幾率, 雙陰極設計.
KRI 考夫曼離子源 KDC 160運行結果：
1. KRI 考夫曼離子源 KDC 160輔助制備的 AlCrN 涂層的 CrN 相的結晶度明顯提高
2.與傳統清洗技術相比, KRI 考夫曼離子源 KDC 160清洗有利于涂層以平面方式生長, 細化晶粒, 涂層硬度從HV0.1 3200 提高到 HV0.1 3600.
3. KRI 考夫曼離子源 KDC 160轟擊處理基材表面可提高膜基壓應力, 抑制裂紋擴展, 基膜結合強度提高了 10N
4. 利用KRI 考夫曼離子源 KDC 160清洗制備的 AlTISiN 涂層, 摩擦系數均在 0.2 左右, 具有良好的排屑能力
5. 刀具壽命提高了約3倍
伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.
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