國國家實驗室用水規格 GB6682-92
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名 稱 |
一 級 |
二 級 |
三 級 |
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PH 值范圍（ 25℃ ） |
- |
- |
5.0-7.5 |
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電導率（ 25℃ ） ,uS/cm ≤ |
0.1 |
1.0 |
5.0 |
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比電阻（ M Ω .cm.25℃ ） ≥ |
10 |
1 .0 |
0.2 |
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可氧化物質 < 以（ 0 ）計 > ， mg/L |
- |
0.08 |
0.40 |
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< 吸光度（ 254nm,1cm 光程） ≤ |
0.001 |
0.01 |
- |
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蒸發殘渣（ 105±2℃ ）， mg/L≤ |
- |
1.0 |
2.0 |
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可容性硅 < 以（ sio 2 ）計 > ， mg/L< |
0.01 |
0.02 |
- |
中國國家電子超純水規格 GB/T1146.1-1997
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級別、指標 |
EW-I |
EW-II |
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電阻率 MΩ.cm （ 25℃ ） |
18 以上（ 95% 時間）不低于 17 |
15 （ 95% 時間）不低于 13 |
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硅 ≤μg/l |
2 |
10 |
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>1μM 微粒數 ≤ 個 /ml |
0.1 |
5 |
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細菌個數 ≤ 個 /ml |
0.01 |
0.1 |
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銅 ≤μg/l |
0.2 |
1 |
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鋅 ≤μg/l |
0.2 |
1 |
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鎳 ≤μg/l |
0.1 |
1 |
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鈉 ≤μg/l |
0.5 |
2 |
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鉀 ≤μg/l |
0.5 |
2 |
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氯 ≤μg/l |
1 |
1 |
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硝酸根 ≤μg/l |
1 |
1 |
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磷酸根 ≤μg/l |
1 |
1 |
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硫酸根 ≤μg/l |
1 |
1 |
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總有機碳 ≤μg/l |
20 |
100 |