德國MLase準分子激光器 MLI- 500LC / 1000LC 產品描述
MLase產品型號：
MLI-HP-KrF 500 / 1000
MLI - 200 / 500 / 1000
MLI-Krf-FBG/200/500/1000
MLI-HP-Krf-FBG/200/500/1000
MLI-200/500/1000準分子激光器
MLI系列的現代緊湊型準分子激光器為193 nm或248 nm的紫外光源，脈沖能量高達16 mj，重復頻率可達1,000 Hz。
具有市場上最高的使用壽命和可靠性以及的運營成本的獨立設備。適用于由于均勻光束剖面和能量穩定而要求的應用。
使用LC添加劑的準分子激光器還可以選擇主動水冷卻ρ(通過家用水或外部熱交換器；不使用DI水)來穩定連續運行。
主要功能
? 工業設計
客戶利益
? 高可靠性
? 維護成本低
? 100%占空比
? 電暈預電離? 均質梁輪廓
? 固態電路? 立即可用，無老化
? 管子技術? 管道全金屬密封
? 壽命延長數十億
脈沖
? 能量監測器? 能量穩定化
? 緊湊型Excimerlaser，
單相
? 易于操作，易于集成
? 水冷卻器
