廣州潽拓光電科技有限公司維修Shimadzu島津TMP-2003M真空設備泵，Shimadzu TMP-2003LM/LMC TMP-2003M/MC分子泵抽速可達到2000L/s，轉速為27000rpm，極限壓力1x10-11Torr(1.3x10-11mbar)，對應的控制器為：Shimadzu EI-D2003M。