廣州潽拓光電科技有限公司維修普發Pfeiffer THM262分子泵， Pfeiffer TC100二手分子泵驅動器 德國普發分子泵電源 Pfeiffer TC100 ，可以驅動對應的分子泵有Pfeiffer TMH071， Pfeiffer TMU071， Pfeiffer TMH262，其輸出為3相 24V 0-1500Hz的PWM 電壓。